序号

仪器设备名称

购置时间

设备原值（万元）

1

激光图形化直写设备

2012

447

2

传函测试设备

2006

413.5

3

水平干涉仪

2006

400

4

光学加工中心

2006

360.5

5

箱式真空镀膜机

2008

353.4

6

玻璃冷加工机床

2011

322

7

3D飞秒激光光刻设备

2013

286

8

3D激光直写仪

2012

284.3

9

面形测量仪

2006

281.3

10

RIE刻蚀设备

2014

249.5